A63.7080 Schottky Field Emission Gun Microscope électronique à balayage Std FEG SEM, 15x~500000x
| A63.7080 Canon à émission de champ Schottky Microscope électronique à balayage SEM Pro FEG | ||
| Résolution | 1.5nm@15KV(SE); 3 nm@20KV (ESB) | |
| Grossissement | 15x~500000x | |
| Pistolet à électrons | Canon à électrons à émission Schottky | |
| Courant de faisceau d'électrons | 10pA~0.3μA | |
| Accélération de Voatage | 0~30KV | |
| Système de vide | 2 pompes ioniques, pompe moléculaire turbo, pompe mécanique | |
| Détecteur | SE : Détecteur d'électrons secondaire à vide poussé (avec protection du détecteur) | |
| ESB : Détecteur de rétrodiffusion à quatre segments à semi-conducteurs | ||
| CCD | ||
| Stade de l'échantillon | Scène motorisée eucentrique à cinq axes | |
| Gamme de voyage | X | 0~80mm |
| Y | 0~50mm | |
| Z | 0~30mm | |
| R | 360º | |
| T | -5º~70º | |
| Diamètre maximum de l'échantillon | 175 mm | |
| Modification | EBL ; STM ; AFM ; Étape de chauffage ; Étape de cryo ; Étape de traction ; Micro-nano manipulateur ; SEM + Machine de revêtement ; SEM + Laser Etc. | |
| Accessoires | Détecteur à rayons X (EDS), EBSD, CL, WDS, machine de revêtement, etc. | |
La microscopie électronique à balayage (sem) convient à l'observation de la topographie de surface des métaux, des céramiques, des semi-conducteurs, des minéraux, de la biologie, des polymères, des composites et des matériaux à une dimension, à deux dimensions et à trois dimensions à l'échelle nanométrique (image électronique secondaire, image électronique rétrodiffusée). Il peut être utilisé pour analyser les composants de point, de ligne et de surface de la microrégion. Il est largement utilisé dans le pétrole, la géologie, le domaine minéral, l'électronique, le domaine des semi-conducteurs, la médecine, le domaine de la biologie, l'industrie chimique, le domaine des matériaux polymères, enquête criminelle sur la sécurité publique, l'agriculture, la foresterie et d'autres domaines.
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