A63.7069 Microscope électronique à balayage à filament de tungstène, standard. SEM, 6x~600000x
| A63.7069 Filament de tungstène Microscope électronique à balayage, Std. SEM | ||
| Résolution | 3 nm@30KV(SE); 6nm@30KV (ESB) | |
| Grossissement | Grossissement négatif : 6x~300000x ; Grossissement de l'écran : 12x~600000x | |
| Pistolet à électrons | Cartouche de filament de tungstène pré-centré à cathode chauffée au tungstène | |
| Tension d'accélération | 0~30KV | |
| Système de lentilles | Lentille électromagnétique à trois niveaux (lentille conique) | |
| Ouverture de l'objectif | Système de vide extérieur réglable à ouverture en molybdène | |
| Stade de l'échantillon | Étape des cinq axes | |
| Gamme de voyage | X(Auto) | 0~80mm |
| O(Auto) | 0~60mm | |
| Z(Manuel) | 0~50mm | |
| R(Manuel) | 360º | |
| T(Manuel) | -5º~90º | |
| Diamètre maximum de l'échantillon | 175 mm | |
| Détecteur | SE : Détecteur d'électrons secondaire à vide poussé (avec protection du détecteur) | |
| ESB : Détecteur de rétrodiffusion à quatre segments à semi-conducteurs | ||
| CCD | ||
| Modification | Mise à niveau de l'étape ; EBL ; STM ; AFM ; étape de chauffage ; étape de cryo ; étape de traction ; micro-nano manipulateur ; SEM + machine de revêtement ; SEM + laser | |
| Accessoires | CCD, LaB6, détecteur de rayons X (EDS), EBSD, CL, WDS, machine de revêtement | |
| Système de vide | Pompes moléculaires turbo;Pompe rotative | |
| Courant de faisceau d'électrons | 10pA~0.1μA | |
| ordinateur | Station de travail Dell personnalisée | |
La microscopie électronique à balayage (sem) convient à l'observation de la topographie de surface des métaux, des céramiques, des semi-conducteurs, des minéraux, de la biologie, des polymères, des composites et des matériaux à une dimension, à deux dimensions et à trois dimensions à l'échelle nanométrique (image électronique secondaire, image électronique rétrodiffusée). Il peut être utilisé pour analyser les composants de point, de ligne et de surface de la microrégion. Il est largement utilisé dans le pétrole, la géologie, le domaine minéral, l'électronique, le domaine des semi-conducteurs, la médecine, le domaine de la biologie, l'industrie chimique, le domaine des matériaux polymères, enquête criminelle sur la sécurité publique, l'agriculture, la foresterie et d'autres domaines.
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